在多晶硅生产进程中，若何挑选克复炉尾气过滤器平昔是一个难点。比如，过滤器和过滤面积选用失当，会导致过滤器堵塞或硅粉过滤不一共，作用卑劣工艺设备，严重陶染系统的坚固运行。由于多晶硅行业尾气粉尘具有颗粒细、高温、高硬度、耐磨等特点，而今接纳316L金属烧结膜管动作滤芯的过滤器效力优良。该过滤器可筑立为手动反洗濯或主动反冲洗。

　　这些颗粒的保全是教养临盆安稳性和换热成就的危险出处。过滤辨别安设不光爱惜了临蓐筑设的工艺安全，而且进步了产品收率。

　　尾气过滤运用于多晶硅临盆的各个工艺阶段，在多晶硅坐蓐中发挥提神要感动，特殊是在而今行业低水准运行时期，对颓唐多晶硅产品成本独特急迫。

　　三、过滤硅粉罐中的硅粉。在多晶硅生产的每个单元中，硅粉的起源主要有两种:(1)在冷加氢系统运行历程中，大量未参预反响的细硅粉被冷凝单元冷凝后加入加氢冷凝液；(2)在规复单元中，范围反应天禀的硅原子无法重积，终无定形硅粉随复原尾气进入冷凝单元，导致无定形硅粉夹带在光复尾气的冷凝液中。加氢冷凝液和复兴尾气冷凝液将进入粗蒸馏塔进行组分区别，夹带的硅粉将以渣浆方法重淀。

　　此刻，在多晶硅坐蓐中，许多厂家没有去除光复尾气和冷凝氯硅烷中夹带的细硅粉，导致骨子生产中透露一系列厉重标题。富集的细硅粉不只会阻碍各生产单元，造成工艺安排碰壁、歇工、产能降下等不良感染，况且投入毗邻管道时会酿成厉沉搅浑。厂家也测验利用古代过滤技能去除硅粉，如袋式过滤器、陶瓷过滤器等。但在骨子支配中，发现袋式过滤器和陶瓷过滤器保管驾御寿命短、耐温性差、机械性能差(易毁坏)等偏差。别的，传统过滤步骤取得的硅渣含有盐酸和游离氯离子，滤渣仍需水洗。但水洗历程会生长二氧化硅、硅酸等难溶化合物，需要进一步二次、三次过滤，酿成水资源的不吝，扩充环保压力，扩大坐蓐成本。